一種太陽(yáng)能設(shè)備載具式輸送硅片干燥裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920788135.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209859929U 公開（公告）日 2019-12-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN209859929U 申請(qǐng)公布日 2019-12-27
分類號(hào) H01L21/673（2006.01）; H01L31/18（2006.01）; F26B15/14（2006.01）; F26B21/00（2006.01）; F26B25/00（2006.01） 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳國(guó)龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市和科達(dá)精密清洗設(shè)備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市順天達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 深圳市和科達(dá)精密清洗設(shè)備股份有限公司
地址 518109 廣東省深圳市龍華新區(qū)大浪街道華旺路和科達(dá)工業(yè)園3號(hào)廠房三樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種太陽(yáng)能設(shè)備載具式輸送硅片干燥裝置，包括用于支撐整個(gè)干燥裝置的機(jī)架、固定在機(jī)架上的隧道爐、設(shè)于隧道爐頂部的FFU干燥裝置、用于裝載硅片的花籃和用于將花籃移入隧道爐內(nèi)進(jìn)行干燥的干燥移栽機(jī)構(gòu)；機(jī)架上、隧道爐的兩側(cè)分別為上料位和下料位，隧道爐的上料位側(cè)設(shè)有隧道爐入料門裝置，隧道爐的下料位側(cè)設(shè)有隧道爐出料門裝置。本實(shí)用新型通過花籃裝載硅片有助于對(duì)硅片進(jìn)行保護(hù)，降低了硅片的損傷概率。