一種制絨機(jī)設(shè)備的鼓泡裝置及包含該裝置的制絨機(jī)設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820711546.1 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN208127163U 公開（公告）日 2018-11-20
申請公布號(hào) CN208127163U 申請公布日 2018-11-20
分類號(hào) H01L21/67;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鐘建;粱海華;蔣威余 申請（專利權(quán)）人 深圳市和科達(dá)精密清洗設(shè)備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市順天達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 深圳市和科達(dá)精密清洗設(shè)備股份有限公司
地址 518109 廣東省深圳市龍華新區(qū)大浪街道華旺路和科達(dá)工業(yè)園3號(hào)廠房三樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種制絨機(jī)設(shè)備的鼓泡裝置及包含該裝置的制絨機(jī)設(shè)備，所述鼓泡裝置包括：用于盛裝浸泡藥液的藥液槽(1)、鼓泡管(2)、設(shè)置于鼓泡管(2)和硅片載具(5)之間的均氣板(3)，所述硅片載具(5)、均氣板(3)和鼓泡管(2)安裝在所述藥液槽(1)內(nèi)，所述鼓泡管(2)用于產(chǎn)生氣泡撞擊裝在所述硅片載具(5)上的硅片，所述均氣板(3)上均勻開設(shè)有多個(gè)導(dǎo)泡孔，所述多個(gè)導(dǎo)泡孔用于將所述鼓泡管(2)產(chǎn)生的氣泡導(dǎo)向所述硅片?；诒緦?shí)用新型，可以利用氣泡撞擊裝在硅片載具上的硅片以使藥液與硅片充分接觸，從而得到良好的金字塔結(jié)構(gòu)，而且本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，便于生產(chǎn)和維護(hù)。