一種清洗設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020819820.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN212264005U 公開(kāi)(公告)日 2021-01-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN212264005U 申請(qǐng)公布日 2021-01-01
分類(lèi)號(hào) B08B3/08(2006.01)I 分類(lèi) 清潔;
發(fā)明人 張廣雨;張慧 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 北京亦盛精密半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京東方芊悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 北京亦盛精密半導(dǎo)體有限公司
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)海二路28號(hào)8幢廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種清洗設(shè)備,包括清洗槽、位于清洗槽內(nèi)部的底盤(pán)、位于底盤(pán)正上方的超聲波清洗器、過(guò)濾罐、第一閥門(mén)、第二閥門(mén)、位于過(guò)濾罐上方的硬管,底盤(pán)與清洗槽的槽底之間安裝有多個(gè)支撐板,超聲波清洗器的下部設(shè)置有槽口朝下設(shè)置的超聲波清洗槽,超聲波清洗槽的槽底中央設(shè)置有第一貫穿孔,超聲波清洗器的上部安裝有與第一貫穿孔相連通的管接頭,硬管與管接頭之間設(shè)置有軟管,過(guò)濾罐包括罐體、設(shè)置在罐體內(nèi)部的濾芯、安裝在罐體灌口處的罐蓋。該清洗設(shè)備的操作簡(jiǎn)單,清洗方便,能夠有效對(duì)硅電極在小孔加工過(guò)程中形成的半成品進(jìn)行徹底清洗,避免硅泥等雜質(zhì)滯留在小孔內(nèi)壁。??