一種泡生法單晶爐的全角度視窗

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210071765.5 申請日 -
公開（公告）號 CN102605420A 公開（公告）日 2012-07-25
申請公布號 CN102605420A 申請公布日 2012-07-25
分類號 C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王元斌;鄒宇琦;曹鳳凱;劉獻偉 申請（專利權(quán)）人 上海施科特光電材料有限公司
代理機構(gòu) 上海翼勝專利商標事務所（普通合伙） 代理人 上海施科特光電材料有限公司
地址 201403 上海市奉賢區(qū)航南公路3958號4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明一種泡生法單晶爐的全角度視窗，其特征結(jié)構(gòu)是：籽晶桿頂端通過爐蓋中央的爐蓋上凸口，再通過密封連接體與波紋管連接，實現(xiàn)了真空狀態(tài)下通過波紋管對籽晶桿的控制；爐蓋為上下平面的結(jié)構(gòu)，在爐蓋上設置三個視窗；三個視窗通過三個視窗筒體成陣列傾斜設置在爐蓋上并高于爐蓋的高度；視窗筒體的頂端通過密封圈安裝石英玻璃；在三個視窗筒體下端的爐蓋上設有三快受控制按鈕控制的擋板：需要觀察時，轉(zhuǎn)開擋板通過視窗觀察爐內(nèi)情況，不需觀察時，用擋板遮住視窗下端，其隔熱作用能保護石英玻璃在高溫下正常工作。本發(fā)明有利于清晰觀察泡生法單晶爐內(nèi)晶體的生長情況，有利于技術(shù)人員控制和及時調(diào)整，有利于長出優(yōu)質(zhì)的藍寶石單晶體。