一種泡生法單晶爐的全角度視窗
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201210071765.5 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN102605420A | 公開(公告)日 | 2012-07-25 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN102605420A | 申請(qǐng)公布日 | 2012-07-25 |
分類號(hào) | C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
發(fā)明人 | 王元斌;鄒宇琦;曹鳳凱;劉獻(xiàn)偉 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 上海施科特光電材料有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 上海施科特光電材料有限公司 |
地址 | 201403 上海市奉賢區(qū)航南公路3958號(hào)4幢 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明一種泡生法單晶爐的全角度視窗,其特征結(jié)構(gòu)是:籽晶桿頂端通過爐蓋中央的爐蓋上凸口,再通過密封連接體與波紋管連接,實(shí)現(xiàn)了真空狀態(tài)下通過波紋管對(duì)籽晶桿的控制;爐蓋為上下平面的結(jié)構(gòu),在爐蓋上設(shè)置三個(gè)視窗;三個(gè)視窗通過三個(gè)視窗筒體成陣列傾斜設(shè)置在爐蓋上并高于爐蓋的高度;視窗筒體的頂端通過密封圈安裝石英玻璃;在三個(gè)視窗筒體下端的爐蓋上設(shè)有三快受控制按鈕控制的擋板:需要觀察時(shí),轉(zhuǎn)開擋板通過視窗觀察爐內(nèi)情況,不需觀察時(shí),用擋板遮住視窗下端,其隔熱作用能保護(hù)石英玻璃在高溫下正常工作。本發(fā)明有利于清晰觀察泡生法單晶爐內(nèi)晶體的生長(zhǎng)情況,有利于技術(shù)人員控制和及時(shí)調(diào)整,有利于長(zhǎng)出優(yōu)質(zhì)的藍(lán)寶石單晶體。 |
