一種晶體材料檢查裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120475846.2 申請日 -
公開（公告）號 CN202330305U 公開（公告）日 2012-07-11
申請公布號 CN202330305U 申請公布日 2012-07-11
分類號 G01N21/94(2006.01)I;G01N15/02(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳先慶;鄒宇琦;曹鳳凱;劉獻偉 申請（專利權(quán)）人 上海施科特光電材料有限公司
代理機構(gòu) 上海碩力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 上海施科特光電材料有限公司
地址 201403 上海市奉賢區(qū)航南公路3958號4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型實施例公開了一種晶體材料檢查裝置，用于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，包括：光源模塊，用來發(fā)射入射光并使用所述入射光對被測晶體材料進行照射；光電探測模塊，與所述光源模塊封裝在一起，用來對被測晶體材料內(nèi)雜質(zhì)的后向散射光與入射光相干涉后得到的信號進行探測，并將所述信號轉(zhuǎn)化為電信號；信號提取模塊，用來對所述電信號進行提取并轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號；信號處理模塊，用來對所述數(shù)字信號進行處理，得到所述被測晶體材料內(nèi)雜質(zhì)的微納米顆粒粒徑和/或其分布信息。因此，本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、測量范圍寬而準確度高等優(yōu)點，且價格相對低廉，適合于工程實時監(jiān)控等應(yīng)用。