一種減少藍(lán)寶石生長(zhǎng)爐內(nèi)揮發(fā)物的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210391182.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102912439A 公開（公告）日 2013-02-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN102912439A 申請(qǐng)公布日 2013-02-06
分類號(hào) C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 劉劍;曹鳳凱;劉獻(xiàn)偉;姚濤濤;張亞寧;袁洋;邵永正 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海施科特光電材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海施科特光電材料有限公司
地址 201403 上海市奉賢區(qū)航南公路3958號(hào)4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及人造藍(lán)寶石技術(shù)領(lǐng)域，是一種減少藍(lán)寶石生長(zhǎng)爐內(nèi)揮發(fā)物的方法，包括以下步驟：⑴在完成人造藍(lán)寶石生長(zhǎng)的準(zhǔn)備工作后開啟機(jī)械泵；⑵開啟可變頻分子泵；⑶關(guān)閉分子泵并向爐內(nèi)充入高純氬氣；⑷在控制系統(tǒng)中設(shè)定爐內(nèi)真空壓力值；⑸分子泵運(yùn)行使?fàn)t內(nèi)真空壓力與設(shè)定值相符；⑹爐內(nèi)真空壓力達(dá)到設(shè)定值后開始加熱升溫；本發(fā)明的積極效果是：通過(guò)使用可變頻分子泵提高藍(lán)寶石生長(zhǎng)爐爐內(nèi)的壓力，熱場(chǎng)揮發(fā)物和籽晶上粘附的揮發(fā)物明顯減少，引晶質(zhì)量有較大提高，同時(shí)，降低了真空系統(tǒng)的能耗；加入惰性氣體后減少了爐內(nèi)揮發(fā)物的殘留，能有效保護(hù)爐內(nèi)熱場(chǎng)不被氧化；本發(fā)明的方法工藝步驟合理，容易操作。