提高半導(dǎo)體激光器光功率穩(wěn)定性的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910026832.X 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN101567517B 公開（公告）日 2010-11-17
申請公布號(hào) CN101567517B 申請公布日 2010-11-17
分類號(hào) H01S5/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李明 申請（專利權(quán)）人 江蘇鎮(zhèn)江農(nóng)村商業(yè)銀行股份有限公司丹徒支行
代理機(jī)構(gòu) 鎮(zhèn)江京科專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 夏哲華
地址 212000 江蘇省鎮(zhèn)江市京口開發(fā)區(qū)金陽大道1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體光電器件的制造技術(shù)，涉及一種提高半導(dǎo)體激光器光功率穩(wěn)定性的方法。該方法是在封帽機(jī)上對(duì)激光器組件進(jìn)行烘烤和封裝，依次經(jīng)過以下步驟，a.將未封裝的激光器組件放入封帽機(jī)自帶的真空烘箱中；b.對(duì)真空烘箱抽真空再充入干燥氮?dú)猓籧.重復(fù)步驟b若干次；d.打開真空烘箱的加熱開關(guān)，設(shè)定加熱溫度為100～110℃，加熱時(shí)間為12～18小時(shí)，在加熱過程中維持真空烘箱內(nèi)氣壓小于1毫米汞柱；e.加熱完成后向真空烘箱中充入干燥氮?dú)庵翚鈮簽?60毫米汞柱，將真空烘烤過的激光器組件轉(zhuǎn)移到密封操作箱，完成對(duì)激光器組件的封蓋過程。本發(fā)明既提高了半導(dǎo)體激光器光功率的穩(wěn)定性，同時(shí)縮短了真空烘烤時(shí)間，節(jié)省了成本。