一種半導(dǎo)體晶圓邊緣去膠裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120595452.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214586381U 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN214586381U 申請公布日 2021-11-02
分類號 G03F7/42（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 蔡敏;石正強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 福建慧芯激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 泉州市文華專利代理有限公司 代理人 陳云川
地址 362100福建省泉州市惠安縣螺陽鎮(zhèn)城南工業(yè)區(qū)站前路19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體晶圓邊緣去膠裝置，包括固定座，所述固定座上設(shè)置有可安裝晶圓的轉(zhuǎn)盤和能驅(qū)動所述轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動的電機(jī)，所述固定座的一側(cè)還設(shè)有除膠裝置，所述除膠裝置包括支架，擺臂和彈性部件，所述擺臂上設(shè)有用于去除所述晶圓邊緣膠的噴頭裝置，所述擺臂抵壓在所述晶圓上；當(dāng)除膠裝置開始工作時，電機(jī)驅(qū)動轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動，晶圓則隨著轉(zhuǎn)盤一起轉(zhuǎn)動，擺臂上的噴頭裝置也朝著晶圓的邊緣噴涂清洗劑，當(dāng)擺臂靠近晶圓的缺邊時，由于彈性部件始終對擺臂施加彈力力，擺臂會一直抵壓在晶圓的邊緣上，從而對晶圓及晶圓的缺邊進(jìn)行有效的清洗。