一種晶圓涂膠后平邊和圓邊的去邊裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120918208.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215008141U 公開(kāi)（公告）日 2021-12-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN215008141U 申請(qǐng)公布日 2021-12-03
分類號(hào) H01L21/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔡敏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 福建慧芯激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 泉州市文華專利代理有限公司 代理人 陳云川
地址 362100福建省泉州市惠安縣螺陽(yáng)鎮(zhèn)城南工業(yè)區(qū)站前路19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓涂膠后平邊和圓邊的去邊裝置，所述去邊裝置包括支架，噴嘴裝置和彈性部件，所述噴嘴裝置包括噴嘴和與噴嘴連接的抵接部，所述彈性部件的一端連接在所述支架上，另一端抵頂在所述抵接部上；將去邊裝置設(shè)置在晶圓涂布裝置的側(cè)邊，噴嘴裝置上的抵接部被彈性部件施加作用力抵頂在晶圓上，當(dāng)需要對(duì)晶圓邊緣殘留進(jìn)行去除時(shí)，讓晶圓與去邊裝置相對(duì)的轉(zhuǎn)動(dòng)，噴嘴裝置上的噴嘴朝著晶圓的邊緣噴涂清洗劑，當(dāng)晶圓的平邊轉(zhuǎn)動(dòng)靠近噴嘴時(shí)，由于彈性部件始終對(duì)抵接部施加彈力，抵接部一直抵壓在晶圓的邊緣上，從而使得抵接部上的噴嘴能夠?qū)A的圓邊及晶圓的平邊進(jìn)行有效的清洗。