一種適用于半導(dǎo)體芯片測試系統(tǒng)的探針夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122293252.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214503816U 公開（公告）日 2021-10-26
申請公布號 CN214503816U 申請公布日 2021-10-26
分類號 G01R31/28（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 洪斌 申請（專利權(quán)）人 福建慧芯激光科技有限公司
代理機構(gòu) 泉州市博一專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 洪淵源;蘇秋桂
地址 362100福建省泉州市惠安縣惠安縣螺陽鎮(zhèn)城南工業(yè)區(qū)站前路19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種適用于半導(dǎo)體芯片測試系統(tǒng)的探針夾具，涉及半導(dǎo)體光電子技術(shù)領(lǐng)域，包括支架和探針固定器，探針固定器可調(diào)節(jié)地設(shè)置于支架，并且探針固定器設(shè)有用于夾持探針的夾持部。需要更換探針時，用探針固定器夾持探針，并將支架固定于半導(dǎo)體芯片測試設(shè)備的探針座旁側(cè)即可進行更換，操作簡單方便，有效提高了探針的更換速率，并且能避免因人為因素而造成的探針損傷，充分降低了測試成本。