一種VCSEL芯片氧化實時監(jiān)控設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121409767.1 申請日 -
公開（公告）號 CN215299779U 公開（公告）日 2021-12-24
申請公布號 CN215299779U 申請公布日 2021-12-24
分類號 H01S5/183（2006.01）I;H01S5/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄢靜舟;王坤;楊奕;糜?xùn)|林 申請（專利權(quán)）人 福建慧芯激光科技有限公司
代理機構(gòu) 泉州市博一專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 方傳榜;蘇秋桂
地址 362100福建省泉州市惠安縣螺陽鎮(zhèn)城南工業(yè)區(qū)站前路19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種VCSEL芯片氧化實時監(jiān)控設(shè)備，包括氧化裝置、供氣裝置、監(jiān)控光纖、光譜分析儀和控制箱；氧化裝置設(shè)有用于放置外延片的氧化室；供氣裝置包括第一氮氣源，第一氮氣源通過第一載氣通道連通于氧化室內(nèi)，并設(shè)有第一調(diào)節(jié)閥；光譜分析儀通過監(jiān)控光纖實時采集外延片的反射光譜；控制箱電連接于光譜分析儀和第一調(diào)節(jié)閥，用于接收光譜分析儀采集的數(shù)據(jù)，并通過第一調(diào)節(jié)閥控制外延片的氧化過程。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，易于操作，能夠確保外延片A的氧化制程精確可控，即使不同批次的外延片出現(xiàn)氧化物理控制參數(shù)波動，也不會出現(xiàn)過氧化或少氧化的問題，能夠保證各批次產(chǎn)品氧化孔徑的一致性，有效地提高產(chǎn)品的良率、性能和可靠性。