一種硅片加工用清洗機的石英槽晶片承載臺支撐底座裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022377926.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213026070U 公開（公告）日 2021-04-20
申請公布號 CN213026070U 申請公布日 2021-04-20
分類號 H01L21/673(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)N;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳泓明;鐘佑生;陳志剛;周軍磊;張磊 申請（專利權）人 鄭州合晶硅材料有限公司
代理機構 鄭州聯(lián)科專利事務所（普通合伙） 代理人 張曉萍
地址 450000河南省鄭州市航空港經濟綜合實驗區(qū)規(guī)劃工業(yè)四路以南、華夏大道以西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請屬于半導體硅片加工技術領域，具體涉及一種硅片加工用清洗機的石英槽晶片承載臺支撐底座裝置。所述支撐底座裝置，其總體呈“V”形結構，設于石英槽底部，包括正向支撐底座和反向支撐底座兩個方向相反的支撐底座，并且相鄰兩個石英槽底部所設支撐底座裝置方向相反；正向支撐底座由通過兩端對稱設置的兩個連接桿連接的晶片撐桿A、中央撐桿和晶片撐桿B構成；反向支撐底座，由通過兩端對稱設置的兩個連接桿連接的晶片撐桿B、中央撐桿和晶片撐桿A構成。本申請所提供的承載臺支撐底座，結構設計巧妙，通過調整晶片與支撐底座接觸位點變化，從而確保晶片與化學液的充分和全面接觸，對于提高清洗良率起到了較好保障作用。??