制備藍寶石晶體的改進的泡生法及晶體生長爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810398227.4 申請日 -
公開（公告）號 CN108588832A 公開（公告）日 2018-09-28
申請公布號 CN108588832A 申請公布日 2018-09-28
分類號 C30B29/20;C30B17/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐永亮;白偉;陳程;姜恒;于海群 申請（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古恒嘉晶體材料有限公司
代理機構(gòu) 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 內(nèi)蒙古恒嘉晶體材料有限公司
地址 015100 內(nèi)蒙古自治區(qū)巴彥淖爾市巴彥淖爾經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)富源北路1號管委會大樓112室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例提供一種制備藍寶石晶體的改進的泡生法及實施該方法的晶體生長爐，該方法包括以下步驟：(a)將晶體生長爐內(nèi)抽真空，加熱使所述晶體生長爐內(nèi)坩堝中的氧化鋁原料熔化，得到熔體；(b)往所述晶體生長爐內(nèi)充入惰性氣體，維持爐內(nèi)壓力為0.1?100Pa；(c)在壓力為0.1?100Pa的所述惰性氣體氛圍下，將藍寶石籽晶放置于所述熔體的液面以下，進行引晶、擴肩生長、等徑生長和收尾生長；(d)晶體生長完成后進行退火處理，得到藍寶石晶體。采用上述技術(shù)方案中的改進的泡生法，可以減少熱場中鎢/鉬材料的零部件的升華損耗，減少氧化鋁熔體的蒸發(fā)，從而延長熱場中鎢/鉬材料的零部件的使用壽命。