一種晶圓托舉機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920003162.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209383334U 公開（公告）日 2019-09-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN209383334U 申請(qǐng)公布日 2019-09-13
分類號(hào) B66F11/00（2006.01）I 分類 卷?yè)P(yáng)；提升；牽引;
發(fā)明人 劉紅軍; 楊剛; 單宏; 劉宵嬋; 鄭金寶; 孟憲圓; 高今朝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 秦皇島視聽機(jī)械研究所有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李興林
地址 066000 河北省秦皇島市海港區(qū)河北大街中段165號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓托舉機(jī)構(gòu)，包括承片臺(tái)，所述承片臺(tái)通過(guò)下方的安裝基座連接在探針臺(tái)上；所述承片臺(tái)的上表面的中心處均布有四個(gè)滑孔，所述安裝基座通過(guò)連接塊與晶圓頂片機(jī)構(gòu)連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊、占用空間小，晶圓轉(zhuǎn)運(yùn)及取放過(guò)程穩(wěn)定，有效的防止了待測(cè)晶圓上表面特征和墨點(diǎn)對(duì)吸取晶圓的影響，避免了造成待測(cè)晶圓的損傷。