一種晶圓托舉機構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920003162.9 申請日 -
公開（公告）號 CN209383334U 公開（公告）日 2019-09-13
申請公布號 CN209383334U 申請公布日 2019-09-13
分類號 B66F11/00（2006.01）I 分類 卷揚；提升；牽引;
發(fā)明人 劉紅軍; 楊剛; 單宏; 劉宵嬋; 鄭金寶; 孟憲圓; 高今朝 申請（專利權）人 秦皇島視聽機械研究所有限公司
代理機構 北京科億知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 李興林
地址 066000 河北省秦皇島市海港區(qū)河北大街中段165號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓托舉機構，包括承片臺，所述承片臺通過下方的安裝基座連接在探針臺上；所述承片臺的上表面的中心處均布有四個滑孔，所述安裝基座通過連接塊與晶圓頂片機構連接。本實用新型結構緊湊、占用空間小，晶圓轉運及取放過程穩(wěn)定，有效的防止了待測晶圓上表面特征和墨點對吸取晶圓的影響，避免了造成待測晶圓的損傷。