壓電傳感器的制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111116189.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113851577A 公開(kāi)（公告）日 2021-12-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113851577A 申請(qǐng)公布日 2021-12-28
分類(lèi)號(hào) H01L41/22（2013.01）I;H01L41/332（2013.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 周書(shū)綺 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 業(yè)成光電（無(wú)錫）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都希盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊冬梅;張行知
地址 611730四川省成都市高新區(qū)西區(qū)合作路689號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種壓電傳感器的制作方法包含：形成至少一金屬層于至少一基材上；于至少一金屬層上依序形成復(fù)數(shù)個(gè)遮罩單元，其中遮罩單元形成遮罩圖案；經(jīng)由遮罩圖案蝕刻至少一金屬層；以及移除遮罩圖案。通過(guò)該方法可以節(jié)省曝光顯影的步驟以及投資于濕式制程機(jī)臺(tái)的成本，以達(dá)到節(jié)省制造步驟、制造時(shí)間以及制造成本的效果。