利用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)制備鋰電池C?Si負(fù)極涂層的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610630926.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106119795A 公開(kāi)（公告）日 2016-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN106119795A 申請(qǐng)公布日 2016-11-16
分類(lèi)號(hào) C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙斌 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 深圳市第四能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)福田街道濱河大道5022號(hào)聯(lián)合廣場(chǎng)A座2608室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)一種利用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)制備鋰電池C?Si負(fù)極涂層的方法，該方法是將負(fù)極基材安裝到極片架上；開(kāi)啟連續(xù)式真空磁控濺射鍍膜設(shè)備，調(diào)整設(shè)備至可鍍膜工藝條件；投入待鍍膜基片架?銅箔；離子源等離子轟擊剝離銅箔表面氧化層、去除表面尖峰；直流濺鍍C?Si膜；加熱退火處理；出料后特性檢查；本發(fā)明通過(guò)磁控濺射真空鍍膜技術(shù)在鋰電池負(fù)極銅箔上沉積一層C?Si復(fù)合負(fù)極薄膜，以提高負(fù)極電極電性能。