一種在鋰電池用無紡布隔膜表面制備陶瓷膜的方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201610629967.5 | 申請日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN106282949A | 公開(公告)日 | 2017-01-04 |
申請公布號(hào) | CN106282949A | 申請公布日 | 2017-01-04 |
分類號(hào) | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;H01M2/14(2006.01)I;H01M2/16(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
發(fā)明人 | 趙斌 | 申請(專利權(quán))人 | 深圳市第四能源科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
地址 | 518000 廣東省深圳市福田區(qū)福田街道濱河大道5022號(hào)聯(lián)合廣場A座2608室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開一種在鋰電池用無紡布隔膜表面制備陶瓷膜的方法,該方法是將要處理的無紡布在凈化房內(nèi)分切成需要的尺寸后安裝在設(shè)備的放卷輥上;開啟Roll?Roll真空磁控濺射鍍膜設(shè)備,調(diào)整設(shè)備至可鍍膜工藝條件;開啟離子源轟擊聚酯無紡膜,將聚烴高分子鍵部分打開;在聚烴分子鍵打開的同時(shí),開啟中頻濺射陰極,利用中頻磁控濺射陰極反應(yīng)濺射Si靶材,形成SixNy?陶瓷材料嵌入到被打開的聚烴分子鍵位置;形成陶瓷膜;在真空狀態(tài)下進(jìn)行退火處理,消除陶瓷膜應(yīng)力;收?放卷連續(xù)濺鍍;整卷鍍膜完成;破真空;取下收券輥;取樣檢查性能;包裝入庫;本發(fā)明改善了無紡布隔膜的孔徑尺寸、分布,提高無紡布隔膜熱穩(wěn)定性和機(jī)械強(qiáng)度的方法。 |
