全單晶硅鑄錠爐
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201410040583.0 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN103741205B | 公開(公告)日 | 2016-02-24 |
申請公布號 | CN103741205B | 申請公布日 | 2016-02-24 |
分類號 | C30B11/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 水川;許柏 | 申請(專利權(quán))人 | 安徽省徽商金屬股份有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 蚌埠鼎力專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 安徽大晟新能源設(shè)備科技有限公司 |
地址 | 237000 安徽省六安市霍邱縣姚李鎮(zhèn)街道 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明涉及一種全單晶硅鑄錠爐,包括爐體、隔熱籠、上發(fā)熱體、下發(fā)熱體、側(cè)發(fā)熱體、上坩堝蓋板、側(cè)坩堝護(hù)板、石英坩堝、上熱交換臺、下熱交換臺、升降立柱、水冷盤;所述隔熱籠為箱體型,固定在爐體內(nèi),隔熱籠內(nèi)部固定設(shè)有上發(fā)熱體,側(cè)發(fā)熱體;隔熱籠中部設(shè)有下熱交換臺與下發(fā)熱體、升降立柱固定連接,上熱交換臺為活動式,其上放置石英坩堝,側(cè)坩堝護(hù)板4,側(cè)坩堝護(hù)板、上坩堝蓋板;隔熱籠底部外側(cè)設(shè)有水冷盤。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理,避免了已有技術(shù)中的不足之處,使整個熱場橫向熱場梯度小,熔化硅料時間短,提高了單晶率,縮短了工藝周期,提高了設(shè)備的生產(chǎn)效率,可節(jié)約能耗、降低鑄錠生產(chǎn)成本。 |
