一種高純CIG合金濺射靶材吊裝轉(zhuǎn)運(yùn)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123006498.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216613725U 公開(kāi)（公告）日 2022-05-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN216613725U 申請(qǐng)公布日 2022-05-27
分類(lèi)號(hào) B66C1/22（2006.01）I 分類(lèi) 卷?yè)P(yáng)；提升；牽引;
發(fā)明人 唐智勇 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 株洲火炬安泰新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州粵高專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 -
地址 412000湖南省株洲市天元區(qū)天易科技城A5棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種高純CIG合金濺射靶材吊裝轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，包括底板，所述底板的表面開(kāi)設(shè)有第一滑槽，所述第一滑槽的內(nèi)部滑動(dòng)連接有第一滑塊，中間所述第一滑塊的內(nèi)部螺紋連接有螺桿，且螺桿的兩端均通過(guò)軸承與底板的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第一滑塊的表面栓接有夾緊板，所述底板的底部設(shè)置有減震機(jī)構(gòu)，所述底板的兩側(cè)均栓接有固定板，所述固定板的頂部栓接有固定筒，所述固定筒的內(nèi)壁開(kāi)設(shè)有第二滑槽；本實(shí)用新型通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿帶動(dòng)第一滑塊沿著第一滑槽移動(dòng)使夾緊板相對(duì)移動(dòng)的方式，能夠達(dá)到對(duì)靶材進(jìn)行固定的目的，提高了裝置的安全性和穩(wěn)定性，避免了靶材掉落或者晃動(dòng)造成不良后果的問(wèn)題。