一種用于制備高密度ITO靶材的離心噴霧造粒工藝
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202110243038.1 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN112897990B | 公開(公告)日 | 2022-05-10 |
申請公布號 | CN112897990B | 申請公布日 | 2022-05-10 |
分類號 | C04B35/01(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/626(2006.01)I | 分類 | 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕; |
發(fā)明人 | 唐智勇 | 申請(專利權(quán))人 | 株洲火炬安泰新材料有限公司 |
代理機構(gòu) | 長沙鑫澤信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 412000湖南省株洲市天元區(qū)天易科技城自主創(chuàng)業(yè)園一期A5棟 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種用于制備高密度ITO靶材的離心噴霧造粒工藝,屬于ITO靶材加工技術(shù)領(lǐng)域,該離心噴霧造粒工藝包括以下步驟:S1、稱取In2O3納米粉末和SnO2納米粉末,加入去離子水和分散劑,攪拌均勻,得到漿料;S2、將漿料通過砂磨機球磨,然后加入粘結(jié)劑和消泡劑,混合均勻后,得到待造粒漿液;S3、通過風(fēng)機抽取外界空氣,以使空氣依次經(jīng)過濾器、加熱器和集氣管后通過造粒用的罐體內(nèi)的布?xì)夤芘湃牍摅w,直至罐體內(nèi)布滿溫度為130?240℃的熱氣;將待造粒漿液通過進料管輸送,以使待造粒漿液通過霧化器霧化后噴入罐體,從而得到所需造粒粉。本發(fā)明解決了ITO靶材噴霧干燥過程中,霧狀原料干燥速率較慢的問題。 |
