一種ITO顆粒的氣氛燒結(jié)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110242931.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112898014B 公開（公告）日 2022-06-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN112898014B 申請(qǐng)公布日 2022-06-07
分類號(hào) C04B35/457（2006.01）I;C04B35/64（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 唐智勇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 株洲火炬安泰新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙鑫澤信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 412000湖南省株洲市天元區(qū)天易科技城自主創(chuàng)業(yè)園一期A5棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種ITO顆粒的氣氛燒結(jié)方法，屬于ITO靶材加工技術(shù)領(lǐng)域，該氣氛燒結(jié)方法包括以下步驟：S1、ITO素坯的制備：將In2O3粉末和SnO2粉末混合均勻，得到原料粉末，在所述原料粉末中加入粘合劑，混合均勻后噴霧造粒，然后將其裝填到模具中，經(jīng)模壓處理及冷等靜壓處理后，得到ITO素坯；S2、ITO靶材的制備：將上述ITO素坯進(jìn)行脫脂和抽真空處理，然后在所述ITO素坯孔隙中充入氧氣，以使所述ITO素坯在常壓、純氧氣氛條件及1500?1620℃溫度下燒結(jié)5?12h，制得ITO靶材。本發(fā)明解決了傳統(tǒng)ITO靶材氣氛燒結(jié)工藝制造得到的ITO靶材密度較低的問題。