一種ITO靶材燒結尺寸控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210415504.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114702312A 公開（公告）日 2022-07-05
申請公布號 CN114702312A 申請公布日 2022-07-05
分類號 C04B35/457（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/64（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 唐安泰 申請（專利權）人 株洲火炬安泰新材料有限公司
代理機構 長沙鑫澤信知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 412000湖南省株洲市天元區(qū)天易科技城自主創(chuàng)業(yè)園一期A5棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種ITO靶材燒結尺寸控制方法，本發(fā)明作為一種ITO靶材燒結尺寸控制方法，通過晾坯：將ITO靶材坯體，放置5?10天；對位：將ITO靶材坯體放置在承燒板上；燒結：將承燒板放置在燒結爐內，蓋上爐蓋，向燒結爐內通入氧氣；縮板：控制承燒板聚攏，燒結完成降溫開爐，得到相對密度大于90％的ITO靶材；對ITO靶材坯體燒結過程中的垂直方向收縮偏差做出補償，使制得ITO靶材更加均勻，從而提高ITO靶材磁控濺射的利用率；其中縮板步驟中使用一種ITO靶材燒結尺寸控制裝置，此裝置通過轉動盤上的弧形槽帶動控制桿沿轉動盤的徑向移動，實現(xiàn)承燒板的收縮自如，從而補償ITO靶材坯體底部收縮不足的問題。