電解法制備高活性氧化銦的方法、ITO靶材的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210031235.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114540826A 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN114540826A 申請公布日 2022-05-27
分類號 C25B1/01（2021.01）I;C25B1/50（2021.01）I;C01G15/00（2006.01）I;C04B35/453（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;B82Y40/00（2011.01）I;B82Y30/00（2011.01）I;C04B35/626（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 唐安泰 申請（專利權(quán)）人 株洲火炬安泰新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙朕揚(yáng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 412000湖南省株洲市天元區(qū)天易科技城自主創(chuàng)業(yè)園一期A5棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明所提供了一種電解法制備高活性氧化銦的方法、ITO靶材的制備方法，電解法制備高活性氧化銦的方法包括以下步驟：（1）金屬銦為陽極，導(dǎo)電基體為陰極，硝酸銨水溶液為電解液進(jìn)行電解，得到氫氧化銦沉淀；溫度控制在25～45℃之間，電流密度為15～20A/dm2，電壓為0.35～0.45V；（2）將氫氧化銦沉淀水洗、壓濾、干燥，得氫氧化銦；（3）煅燒。ITO靶材的制備方法，包括以下步驟：1）采用上述方法制備氧化銦；2）將氧化銦及氧化錫混勻，加水球磨，噴霧干燥造粒，得粉料；3）將粉料進(jìn)行冷等靜壓成型；4）氣氛燒結(jié)。本發(fā)明先通過優(yōu)化的制備工藝，制備出高活性氧化銦粉末，再將該高活性氧化銦與氧化錫經(jīng)混合球磨、造粒成型、氣氛燒結(jié)可得到高密度ITO靶材。