一體化硅壓阻式傳感器芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820580699.7 申請日 -
公開（公告）號 CN208420258U 公開（公告）日 2019-01-22
申請公布號 CN208420258U 申請公布日 2019-01-22
分類號 G01L9/06;G01L17/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 譚志平;陳建波;莫嬋娟 申請（專利權(quán)）人 上海天沐自動化儀表有限公司
代理機構(gòu) 北京七夏專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海天沐自動化儀表有限公司
地址 201612 上海市松江區(qū)松江高科技園莘磚公路518號11幢16樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及微電子機械系統(tǒng)及壓力傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體的講涉及一體化硅壓阻式傳感器芯片,所述壓力傳感器和加速度傳感器一體化集成在單晶硅同一表面，所述壓力傳感器包括由下至上依次設(shè)置有硅壓阻式壓力傳感器基本體、壓力感應(yīng)膜片、二氧化硅埋層、壓敏電阻、絕緣層和金屬層，所述金屬層上設(shè)置有增穩(wěn)層；所述加速度傳感器與壓力傳感器結(jié)構(gòu)相同，且壓力感應(yīng)膜片上設(shè)置有兩個背腔及兩背腔中間的質(zhì)量塊，所述質(zhì)量塊對應(yīng)的金屬層和增穩(wěn)層設(shè)置為通孔，本實用新型通過在壓敏電阻上方位置設(shè)置的增穩(wěn)層從而降低由于芯片表面的靜電荷和內(nèi)部界面上的固定電荷對傳感器輸出造成的影響，從而使胎壓監(jiān)視準確性高。