掩膜板

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122436360.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216107160U 公開（公告）日 2022-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN216107160U 申請(qǐng)公布日 2022-03-22
分類號(hào) C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李世泰;趙瑩;李慧;劉明星 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 合肥維信諾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華進(jìn)京聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 金偉英
地址 230000安徽省合肥市新站區(qū)魏武路與新蚌埠路交口西南角
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種掩膜板，包括掩膜本體，掩膜本體具有蒸鍍面和背面；掩膜板本體上設(shè)置有貫穿其的蒸鍍孔；蒸鍍孔包括貫穿蒸鍍面的第一蒸鍍孔，以及與第一蒸鍍孔連通且貫穿背面的第二蒸鍍孔；第二蒸鍍孔的內(nèi)壁從靠近背面的一端向遠(yuǎn)離背面的另一端逐漸收攏；掩膜本體還包括設(shè)置于背面的下沉槽，下沉槽與至少部分第二蒸鍍孔一一對(duì)應(yīng)，且圍繞第二蒸鍍孔設(shè)置以連通第二蒸鍍孔；第二蒸鍍孔的內(nèi)壁所在圓弧面與背面相交且形成第一夾角，第二蒸鍍孔的內(nèi)壁與下沉槽的底壁相交設(shè)置且形成第二夾角；第一夾角小于第二夾角。上述掩膜板，第二蒸鍍孔的孔壁與背面的過(guò)渡更加平緩，從而降低了支撐柱被掩膜板刮傷的風(fēng)險(xiǎn)。