微芯片的嵌入裝置及其嵌入方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810301857.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110349866A 公開（公告）日 2019-10-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN110349866A 申請(qǐng)公布日 2019-10-18
分類號(hào) H01L21/52;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張曉勇;賴?yán)谄?吳坤旭;劉茗 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海瑞章物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐文欣;吳敏
地址 201616 上海市松江區(qū)廣富林路4855弄3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種微芯片的嵌入裝置及其嵌入方法，其中，微芯片的嵌入裝置包括：溶液腔室，用于盛載溶液，所述溶液用于浸沒(méi)基底；位于溶液腔室底部的高度調(diào)整裝置，用于調(diào)整基底的運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)面，所述運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)面與溶液腔室底部之間具有夾角；運(yùn)動(dòng)控制裝置，用于控制所述基底沿平行于運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)面運(yùn)動(dòng)，所述運(yùn)動(dòng)包括第一運(yùn)動(dòng)和第一運(yùn)動(dòng)之后的第二運(yùn)動(dòng)，所述第一運(yùn)動(dòng)具有第一速率，所述第二運(yùn)動(dòng)具有第二速率，且所述第一速率大于第二速率。利用所述微芯片的嵌入裝置對(duì)微芯片的嵌入效率較高。