圖像傳感器及其形成方法、工作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910399094.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110137193B 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN110137193B 申請公布日 2021-09-14
分類號 H01L27/146 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孔翠翠;許愛春;祁榮斐;王淞山 申請（專利權(quán)）人 德淮半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐文欣;吳敏
地址 223302 江蘇省淮安市淮陰區(qū)長江東路599號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種圖像傳感器及其形成方法、工作方法，圖像傳感器包括：襯底，所述襯底包括若干像素區(qū)和若干隔離區(qū)，所述隔離區(qū)與像素區(qū)相鄰，且所述隔離區(qū)包圍所述像素區(qū)；位于所述襯底像素區(qū)內(nèi)的感光摻雜區(qū)，所述感光摻雜區(qū)內(nèi)摻雜有第一離子；位于襯底像素區(qū)表面的第一摻雜層，所述第一摻雜層內(nèi)摻雜有第二離子，所述第二離子的導(dǎo)電類型與所述第一離子相同；位于襯底隔離區(qū)表面的第一導(dǎo)電層；位于所述第一摻雜層和第一導(dǎo)電層之間的第一絕緣層。所述圖像傳感器的性能得到提高。