相位對焦圖像傳感器及其形成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910492820.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110164897B 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN110164897B 申請公布日 2021-09-14
分類號 H01L27/146 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 林永璨;內(nèi)藤逹也 申請（專利權(quán)）人 德淮半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐文欣;吳敏
地址 223302 江蘇省淮安市淮陰區(qū)長江東路599號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種相位對焦圖像傳感器及其形成方法，圖像傳感器包括：半導(dǎo)體襯底，所述半導(dǎo)體襯底包括圖像捕獲區(qū)和相位對焦區(qū)，所述半導(dǎo)體襯底圖像捕獲區(qū)內(nèi)具有第一感光層，所述半導(dǎo)體襯底相位對焦區(qū)內(nèi)具有第二感光層；位于半導(dǎo)體襯底圖像捕獲區(qū)表面的第一抗反射結(jié)構(gòu)；位于半導(dǎo)體襯底相位對焦區(qū)表面的第二抗反射結(jié)構(gòu)，第二抗反射結(jié)構(gòu)的反射率大于第一抗反射結(jié)構(gòu)；位于第一抗反射結(jié)構(gòu)表面的第一濾光層，所述第一濾光層通過單色光；位于第二抗反射結(jié)構(gòu)表面的第二濾光層，所述第二濾光層通過自然光。所述相位對焦圖像傳感器的性能得到提高。