圖像傳感器及其形成方法、工作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910339087.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110061020B 公開(kāi)（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN110061020B 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類號(hào) H01L27/146 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王亮;內(nèi)藤逹也 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 德淮半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐文欣;吳敏
地址 223302 江蘇省淮安市淮陰區(qū)長(zhǎng)江東路599號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種圖像傳感器及其形成方法，方法包括：提供襯底，所述襯底包括第一區(qū)和第二區(qū)，所述第一區(qū)包括多個(gè)第一隔離區(qū)和多個(gè)第一像素區(qū)，所述第一隔離區(qū)位于相鄰第一像素區(qū)之間，所述第二區(qū)包括多個(gè)第二像素區(qū)和多個(gè)第二隔離區(qū)，所述第二隔離區(qū)位于相鄰第二像素區(qū)之間；在所述襯底第一隔離區(qū)表面形成第一柵格層；在襯底第一像素區(qū)表面形成第一濾光層，所述第一濾光層位于第一柵格層之間；在襯底第二隔離區(qū)表面形成第二柵格層，所述第二柵格層頂部表面高于第一柵格層；在襯底第二像素區(qū)表面形成第二濾光層，所述第二濾光層位于第二柵格層之間，所述第二濾光層的厚度大于第一濾光層的厚度。所述方法提高了圖像傳感器的性能。