檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)任意波長(zhǎng)透射波前的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910573002.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110307962B | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-10-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110307962B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-10-08 |
| 分類號(hào) | G01M11/02(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張齊元;韓森;吳鵬;王全召;李雪園 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州維納儀器有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海德昭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 郁旦蓉 |
| 地址 | 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)仁愛(ài)路150第二教學(xué)樓B109室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了兩種檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)任意波長(zhǎng)透射波前的方法，一種是利用4種波長(zhǎng)為λ1～λ4的激光干涉儀分別對(duì)復(fù)消色差光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行檢測(cè)，進(jìn)而通過(guò)Zernike多項(xiàng)式擬合波長(zhǎng)為λn的光學(xué)系統(tǒng)的透射波前；另一種是通過(guò)利用4種波長(zhǎng)為λ1～λ4的檢測(cè)裝置分別對(duì)光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行檢測(cè)，進(jìn)而通過(guò)離散點(diǎn)波前像差公式得到波長(zhǎng)為λn的光學(xué)系統(tǒng)完整的透射波前。這兩種方法均能夠應(yīng)用在單波長(zhǎng)系統(tǒng)、消色差系統(tǒng)以及復(fù)消色差系統(tǒng)中，從而解決主要的透射式光學(xué)系統(tǒng)任意波長(zhǎng)波前檢測(cè)的問(wèn)題。不僅使得特殊波長(zhǎng)的激光干涉儀的檢測(cè)范圍變大，而且當(dāng)需要檢測(cè)一些特殊的光學(xué)系統(tǒng)時(shí)，也不需要使用造價(jià)昂貴的特殊波長(zhǎng)的激光干涉儀進(jìn)行檢測(cè)，節(jié)約了檢測(cè)成本。?? |
