微型毛細(xì)管電泳芯片及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910444190.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110308195A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-10-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110308195A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-10-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N27/447;B01L3/00;G01N21/84 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 林孝康;張明哲;傅嵩 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 重慶高開(kāi)清芯科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京律恒立業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 重慶高開(kāi)清芯科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司 |
| 地址 | 400039 重慶市九龍坡區(qū)科城路60號(hào)康田西錦薈2幢9層15號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種微型毛細(xì)管電泳芯片包括第一層結(jié)構(gòu)，在第一層結(jié)構(gòu)下表面布置至少一組微金屬電極，并且貫穿第一層結(jié)構(gòu)開(kāi)設(shè)至少一個(gè)進(jìn)液孔和一個(gè)出液孔；第二層結(jié)構(gòu)，在第二層結(jié)構(gòu)上表面刻蝕微通道，以及儲(chǔ)液腔、緩沖液腔和、第一廢液腔和第二廢液腔；第三層結(jié)構(gòu)，所述第三層結(jié)構(gòu)為CMOS檢測(cè)電路層，所述CMOS檢測(cè)電路的上表面為硅芯片；所述第一層結(jié)構(gòu)與第二層結(jié)構(gòu)鍵合，使所述進(jìn)液孔與所述儲(chǔ)液腔或緩沖液腔對(duì)齊，所述出液孔與所述第一廢液腔或第二廢液腔對(duì)齊，所述第二層結(jié)構(gòu)與所述CMOS檢測(cè)電路的上表面的硅芯片鍵合。本發(fā)明芯片結(jié)構(gòu)高度集成化，簡(jiǎn)化傳統(tǒng)的電泳芯片檢測(cè)裝置，減少檢測(cè)成本，實(shí)現(xiàn)快速片上檢測(cè)。 |
