對位控制裝置、對位控制方法、計算機設備及存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110849697.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113296299B 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113296299B 申請公布日 2021-10-01
分類號 G02F1/13（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 朱峰;王兵兵;宋文環(huán) 申請（專利權）人 蘇州華興源創(chuàng)科技股份有限公司
代理機構 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 代理人 郭鳳杰
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)青丘巷8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及自動化設備檢測技術領域，公開了一種對位控制裝置、對位控制方法、計算機設備及存儲介質(zhì)，包括運動模塊，用于根據(jù)第一控制指令將多個待測樣品移動至第一目標位置，根據(jù)第二控制指令對多個待測樣品進行調(diào)整并移動至第二目標位置；運動模塊包括樣品搬運單元、第一位置調(diào)整單元和第二位置調(diào)整單元；圖像獲取模塊，用于獲取多個待測樣品在第一目標位置處的對位圖像；控制模塊，分別與運動模塊和圖像獲取模塊電連接，用于輸出第一控制指令至運動模塊，根據(jù)圖像獲取模塊獲取的對位圖像計算移動補償值，并根據(jù)移動補償值輸出第二控制指令至運動模塊?？蓪崿F(xiàn)同時對多個待測樣品的對位操作，可以節(jié)省較多的硬件成本，且操作簡單、適用范圍廣。