晶圓對準顯微鏡、光刻機、鍵合機及壓印機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111072897.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113885300A 公開（公告）日 2022-01-04
申請公布號 CN113885300A 申請公布日 2022-01-04
分類號 G03F9/00（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 李凡月;申建雷;沈寶良;黃偉 申請（專利權）人 拾斛科技（南京）有限公司
代理機構 南京睿之博知識產權代理有限公司 代理人 周中民
地址 211800江蘇省南京市江北新區(qū)智達路6號智城園區(qū)2號樓720-82室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓對準顯微鏡，包括光學成像系統(tǒng)和圖像傳感器，光學成像系統(tǒng)包括沿光束傳播方向依次布置的第一鏡組、第二鏡組、第三鏡組，第一鏡組將對準標記成像到無窮遠，第二鏡組將無窮遠處的對準標記成像到無窮遠，第二鏡組把經過光束分裂為第一光束和第二光束，從第二鏡組射出的第一光束的x、y、z方向均不改變，從第二鏡組射出的第二光束的z方向不變，x和y方向相反；第三鏡組分別接收第一、二光束，并將無窮遠處的對準標記分別成像到兩個圖像傳感器。采用晶圓對準顯微鏡可以消除對準系統(tǒng)光軸偏移的問題，從而達到與傳統(tǒng)晶圓對準檢測設備旋轉晶圓相同的效果，可以高精度實現(xiàn)晶圓標記對準檢測。