一種可調(diào)節(jié)的激光接收端及VAD工藝設(shè)備
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201921459320.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN210915833U | 公開(公告)日 | 2020-07-03 |
申請公布號 | CN210915833U | 申請公布日 | 2020-07-03 |
分類號 | C03B37/014 | 分類 | - |
發(fā)明人 | 張亮;甘發(fā)勇;沈文義;鄒鑫鵬 | 申請(專利權(quán))人 | 武漢智纖科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) | 代理人 | 李斯 |
地址 | 430000 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)光谷二路219號鼎杰現(xiàn)代機(jī)電信息孵化園一期16號樓801室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種可調(diào)節(jié)的激光接收端及VAD工藝設(shè)備,涉及芯棒制造領(lǐng)域,激光接收端用于配合激光發(fā)射端定位靶棒端部初始位置,包括:底板,其固定安裝于VAD工藝設(shè)備的沉積腔安裝基座;連接柱,其一端垂直設(shè)置于所述底板;旋臂,其轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述連接柱的另一端,所述旋臂安裝有激光接收器;當(dāng)所述旋臂處于第一位置時(shí),所述激光接收器接收到所述激光發(fā)射端發(fā)射的激光束,且激光束所在的直線是所述旋臂帶動激光接收器轉(zhuǎn)動軌跡的切線;VAD工藝設(shè)備安裝有上述激光接收端;本實(shí)用新型使得激光接收端的調(diào)節(jié)工作變得操作簡便、高效省力且能準(zhǔn)確恢復(fù)至原位。 |
