一種可調(diào)節(jié)的激光接收端及VAD工藝設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921459320.8 申請日 -
公開(公告)號 CN210915833U 公開(公告)日 2020-07-03
申請公布號 CN210915833U 申請公布日 2020-07-03
分類號 C03B37/014 分類 -
發(fā)明人 張亮;甘發(fā)勇;沈文義;鄒鑫鵬 申請(專利權(quán))人 武漢智纖科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 李斯
地址 430000 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)光谷二路219號鼎杰現(xiàn)代機(jī)電信息孵化園一期16號樓801室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種可調(diào)節(jié)的激光接收端及VAD工藝設(shè)備,涉及芯棒制造領(lǐng)域,激光接收端用于配合激光發(fā)射端定位靶棒端部初始位置,包括:底板,其固定安裝于VAD工藝設(shè)備的沉積腔安裝基座;連接柱,其一端垂直設(shè)置于所述底板;旋臂,其轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述連接柱的另一端,所述旋臂安裝有激光接收器;當(dāng)所述旋臂處于第一位置時(shí),所述激光接收器接收到所述激光發(fā)射端發(fā)射的激光束,且激光束所在的直線是所述旋臂帶動激光接收器轉(zhuǎn)動軌跡的切線;VAD工藝設(shè)備安裝有上述激光接收端;本實(shí)用新型使得激光接收端的調(diào)節(jié)工作變得操作簡便、高效省力且能準(zhǔn)確恢復(fù)至原位。