一種基于微納加工工藝的多參數(shù)水質(zhì)監(jiān)測(cè)傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202220348512.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216771586U 公開(kāi)（公告）日 2022-06-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN216771586U 申請(qǐng)公布日 2022-06-17
分類號(hào) G01N27/26（2006.01）I;G01N27/06（2006.01）I;G01K7/18（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 高峰;楊劍;車(chē)壽進(jìn);張南 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 明石創(chuàng)新（煙臺(tái)）微納傳感技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 代理人 -
地址 264006山東省煙臺(tái)市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)珠江路28號(hào)科技大廈1019-2室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于水質(zhì)監(jiān)測(cè)傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于微納加工工藝的多參數(shù)水質(zhì)監(jiān)測(cè)傳感器，包括傳感器本體和芯片，所述傳感器本體內(nèi)設(shè)置有芯片，所述芯片包括PH電極、溶解氧電極、電導(dǎo)率電極和溫度電極，所述PH電極包括通用正極和PH電極負(fù)極，所述溶解氧電極包括通用正極和溶解氧負(fù)極。通過(guò)采用微納加工工藝制備，布局于硅基片上的各測(cè)試電極結(jié)構(gòu)緊湊，體積小巧，集成程度高，制備簡(jiǎn)單，便于安裝，并且各監(jiān)測(cè)參數(shù)使用的電極材料均具有較強(qiáng)的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性，對(duì)傳感器的后期測(cè)試穩(wěn)定性有較強(qiáng)保障作用。