一種FPI批量測(cè)試系統(tǒng)及其測(cè)試方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111406674.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114113871A | 公開（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114113871A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-01 |
| 分類號(hào) | G01R31/01（2020.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 黃錦標(biāo);林琳;郭斌 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳市海譜納米光學(xué)科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廈門福貝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陳遠(yuǎn)洋 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市寶安區(qū)新安街道興東社區(qū)69區(qū)中糧創(chuàng)芯研發(fā)中心1棟1903，1904 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提出了一種FPI批量測(cè)試系統(tǒng)，包括控制器、第一多路復(fù)用器、第二多路復(fù)用器以及FPI承載模塊；所述FPI承載模塊包括m條橫向選通線、n條豎向選通線以及由m行n列FPI載具組成的FPI載具陣列，所述FPI載具陣列用于承載待測(cè)試的FPI，從而構(gòu)成FPI陣列；m條所述橫向選通線的一端均電性連接第一多路復(fù)用器，且另一端分別并聯(lián)所述FPI陣列對(duì)應(yīng)行的n個(gè)FPI，n條所述豎向選通線的一端均電性連接第二多路復(fù)用器，且另一端分別并聯(lián)所述FPI陣列對(duì)應(yīng)列的m個(gè)FPI；還包括成像設(shè)備，所述成像設(shè)備用于采集所述FPI陣列的干涉圖像。本發(fā)明通過搭建FPI承載模塊，基于多路復(fù)用器構(gòu)建FPI選通陣列，兼容了個(gè)體間的差異，滿足FPI批量化測(cè)試需求，因此大大的提高了FPI的測(cè)試效率。 |
