一種包括可調(diào)法珀腔干涉器的工作模組

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122378469.7 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN215526484U 公開(公告)日 2022-01-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN215526484U 申請(qǐng)公布日 2022-01-14
分類號(hào) G05D27/02(2006.01)I 分類 控制;調(diào)節(jié);
發(fā)明人 黃創(chuàng)文;林琳 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳市海譜納米光學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門福貝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 陳遠(yuǎn)洋
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)新安街道興東社區(qū)69區(qū)中糧創(chuàng)芯研發(fā)中心1棟1903,1904
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種包括可調(diào)法珀腔干涉器的工作模組,所述工作模組包括可調(diào)法珀腔干涉器和溫濕度控制裝置,溫濕度控制裝置被設(shè)置在可調(diào)法珀干涉器的外部以控制和測(cè)試所述工作模組工作時(shí)的環(huán)境溫濕度;在工作模組的外部還設(shè)有一個(gè)可拆卸的封閉外殼,以抑制低溫時(shí)的空氣濕度。采用上述結(jié)構(gòu),使工作模組的工作或測(cè)試環(huán)境能迅速降溫并保持在一個(gè)適合的溫度范圍和濕度范圍,保證可調(diào)法珀腔干涉器的工作狀態(tài)穩(wěn)定。