一種大尺寸Al2O3多晶體的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711049678.9 申請日 -
公開（公告）號 CN107747127A 公開（公告）日 2018-03-02
申請公布號 CN107747127A 申請公布日 2018-03-02
分類號 C30B29/20;C30B28/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 韓光;千腦日布;孫全 申請（專利權）人 鄂爾多斯市達瑞祥光電科技有限公司
代理機構 大連智高專利事務所（特殊普通合伙） 代理人 鄂爾多斯市達瑞祥光電科技有限公司
地址 014300 內蒙古自治區(qū)鄂爾多斯市達拉特旗三坰梁工業(yè)園區(qū)緯五路北、經十路西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種大尺寸Al2O3多晶體的制備方法，具體涉及一種內徑為Φ150?230mm，高度大于500mm，厚度15?30mm的圓柱形冷坩堝中制備大尺寸Al2O3多晶體過程中形成高純度、高體密度Al2O3多晶體的工藝流程。該工藝流程包括：熔煉前期坩堝、原料添入、火種添放的準備；熔煉初期火種點燃、原料熔化的控制。熔煉中期和后期控制熔化液面與加熱感應線圈之間的相對位置。本發(fā)明通過在啟動火種選取、啟動火種鋪設、點火、加熱、控溫以及添料等因素進行深入分析，提供了一種控制操作簡單、安全的Al2O3多晶體制備方法，制備出的Al2O3多晶體純度高、密度高、尺寸大。