一種晶硅片鍍膜方法方法及裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811408440.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111223776A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-06-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111223776A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-02 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/316(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 趙科雄;陳紅;常鵬飛;胡滇建;趙許飛;馬威 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 隆基樂(lè)葉光伏科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京潤(rùn)澤恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 隆基樂(lè)葉光伏科技有限公司 |
| 地址 | 710000陜西省西安市西安經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)草灘生態(tài)產(chǎn)業(yè)園尚苑路8369號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種晶硅片鍍膜方法方法及裝置，涉及太陽(yáng)能光伏技術(shù)領(lǐng)域。其中，所述方法包括：在裝載有晶硅片的石墨舟放入爐體內(nèi)的石英管后，將所述石墨舟與所述石英管內(nèi)的電極桿連接；在所述爐體的爐門(mén)關(guān)閉并抽真空后，將所述電極桿與第一電源連通，通過(guò)所述第一電源對(duì)所述石墨舟加熱，以及將所述石英管外壁的電阻絲與第二電源接通，通過(guò)所述第二電源對(duì)所述電阻絲加熱；在所述晶硅片的溫度穩(wěn)定在設(shè)定溫度閾值后，將所述電極桿切換至與輝光電源連通；基于所述輝光電源，對(duì)所述晶硅片鍍膜。不僅用第二電源對(duì)爐體加熱，還利用第一電源對(duì)石墨舟加熱，減少了加熱時(shí)間，第一電源是對(duì)石墨舟直接加熱，加熱效率高，提升了產(chǎn)能。?? |
