一種多邊結(jié)構(gòu)尺寸硅片的切割方法及粘棒工裝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201710236949.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN106956375B | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-12-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN106956375B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-12-13 |
| 分類號(hào) | B28D5/04（2006.01）; B28D7/04（2006.01） | 分類 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 發(fā)明人 | 胡立鋒; 王新平 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 隆基樂(lè)葉光伏科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 隆基樂(lè)葉光伏科技有限公司 |
| 地址 | 710018 陜西省西安經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)尚稷路8989號(hào)A座6層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種多邊結(jié)構(gòu)尺寸硅片的切割方法及粘棒工裝，其中包含如下步驟：(1)粘膠；(2)上料；(3)線切割，通過(guò)對(duì)現(xiàn)有金剛線多線切割工藝做優(yōu)化，實(shí)施對(duì)多邊結(jié)構(gòu)晶棒的切片；(4)下料，采用上下料工裝將加工完成后的硅片運(yùn)送脫膠機(jī)中；(5)脫膠，清洗檢測(cè)，包裝。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，能夠在現(xiàn)有的多線切割設(shè)備、輔材不變的基礎(chǔ)上，對(duì)切割工藝進(jìn)行簡(jiǎn)單調(diào)整，完成多線切割多邊結(jié)構(gòu)的晶棒，同時(shí)能夠在現(xiàn)有的晶圓直徑不變的基礎(chǔ)上，切割出的單張硅片表面積比現(xiàn)有的單張硅片表面積增加22.5％以上，進(jìn)一步提高了設(shè)備產(chǎn)能。 |
