一種用于芯片固定的真空吸附裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911343802.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113021209A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113021209A 申請公布日 2021-06-25
分類號 B25B11/00;C12M1/34;C12M1/00 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設備；機械手;
發(fā)明人 張?zhí)m芳;常松濤;孫志遠;趙磊;張鑫 申請（專利權(quán)）人 長春長光華大智造測序設備有限公司
代理機構(gòu) 深圳鼎合誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 廖金暉;彭家恩
地址 130033 吉林省長春市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)營口路77號孵化基地1號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于芯片固定的真空吸附裝置，包括固定座、安裝架、墊片、吸附面板和氣管，一個或多個墊片墊在安裝架的支撐部與安裝架的下表面之間，吸附面板安裝在安裝架的上表面，并且吸附面板與安裝架之間為柔性連接；吸附面板的上表面布滿有單元吸附槽。由于吸附面板上布滿單元吸附槽，使得吸附面板上各區(qū)域的真空吸附力更為均衡，提高了芯片真空吸附固定的穩(wěn)定性，也避免了局部吸附力不均勻?qū)е碌男酒冃?；吸附面板與安裝架之間為柔性連接，避免了剛性連接帶來的沖擊，避免了芯片的變形；在吸附面板與安裝架的支撐部之間通過插入墊片的方式調(diào)節(jié)吸附面板的平面度，能夠高精度調(diào)節(jié)平面度，并且結(jié)構(gòu)較為簡單。