一種背接觸異質(zhì)結(jié)單晶硅太陽(yáng)能電池及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610832552.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN106252466B 公開(kāi)(公告)日 2018-03-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN106252466B 申請(qǐng)公布日 2018-03-20
分類(lèi)號(hào) H01L31/20;H01L31/0224;H01L31/0747 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 張振剛;蕭生剛;宋江;劉萬(wàn)滿(mǎn) 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 深圳市科納能薄膜科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳盛德大業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 賈振勇
地址 518053 廣東省深圳市南山區(qū)沙河街道沙河工業(yè)區(qū)39棟208號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明適用于太陽(yáng)能光伏技術(shù)領(lǐng)域,提供了一種背接觸異質(zhì)結(jié)單晶硅太陽(yáng)能電池及其制作方法,所述方法包括:在非晶硅層表面,通過(guò)第一鍍膜技術(shù)形成一層透明導(dǎo)電氧化物層;在透明導(dǎo)電氧化物層表面,通過(guò)第二鍍膜技術(shù)形成一層金屬層;通過(guò)激光劃線(xiàn)技術(shù),按照預(yù)設(shè)的金屬電極圖案,在金屬層上進(jìn)行激光劃線(xiàn),在所述金屬層形成包括主電極和柵線(xiàn)電極的金屬電極圖案。通過(guò)在非晶硅層與金屬層中間鍍一層透明導(dǎo)電氧化物層,再結(jié)合不同的激光特性,進(jìn)行激光劃線(xiàn),可以避免激光劃線(xiàn)過(guò)程中對(duì)非晶硅和硅基底的損傷,同時(shí)可有效避免金屬對(duì)硅的擴(kuò)散,并且相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明工藝流程較為簡(jiǎn)單,且可以采用鋁等廉價(jià)金屬材料,降低了電池制作成本,可以達(dá)到量產(chǎn)的目的。