一種背接觸異質結單晶硅太陽能電池及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610832552.8 申請日 -
公開（公告）號 CN106252466A 公開（公告）日 2016-12-21
申請公布號 CN106252466A 申請公布日 2016-12-21
分類號 H01L31/20(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0747(2012.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張振剛;蕭生剛;宋江;劉萬滿 申請（專利權）人 深圳市科納能薄膜科技有限公司
代理機構 深圳盛德大業(yè)知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 賈振勇
地址 518053 廣東省深圳市南山區(qū)沙河街道沙河工業(yè)區(qū)39棟208號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明適用于太陽能光伏技術領域，提供了一種背接觸異質結太陽能電池及其制作方法，所述方法包括：在非晶硅層表面，通過第一鍍膜技術形成一層透明導電氧化物層；在透明導電氧化物層表面，通過第二鍍膜技術形成一層金屬層；通過激光劃線技術，按照預設的金屬電極圖案，在金屬層上進行激光劃線，在所述金屬層形成包括主電極和柵線電極的金屬電極圖案。通過在非晶硅層與金屬層中間鍍一層透明導電氧化物層，再結合不同的激光特性，進行激光劃線，可以避免激光劃線過程中對非晶硅和硅基底的損傷，同時可有效避免金屬對硅的擴散，并且相對于現(xiàn)有技術，本發(fā)明工藝流程較為簡單，且可以采用鋁等廉價金屬材料，降低了電池制作成本，可以達到量產的目的。