基于磁光克爾效應(yīng)的磁性晶圓大視野成像方法和成像裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110548994.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113884443A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113884443A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-04 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N21/21（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張學(xué)瑩;趙巍勝;李紹新;孫蒲正 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 致真精密儀器（青島）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京華仁聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王希剛 |
| 地址 | 100083北京市海淀區(qū)學(xué)院路37號(hào)北京航空航天大學(xué) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了基于磁光克爾效應(yīng)的磁性晶圓大視野成像方法和成像裝置，所述方法包括以下內(nèi)容：通過(guò)磁光克爾成像光路將磁性晶圓內(nèi)部磁化狀態(tài)在計(jì)算機(jī)上顯示成像；具體為，所述磁光克爾成像光路包括偏振照明光路和偏振成像光路，先用偏振照明光路對(duì)磁性晶圓進(jìn)行照射處理，偏振成像光路收集被磁性晶圓反射的光形成圖像，成像光路將圖像傳送給計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)顯示圖像。本發(fā)明首次實(shí)現(xiàn)磁性晶圓大視野成像，可以提高對(duì)磁性晶圓性質(zhì)的快速檢測(cè)，尤其對(duì)磁性晶圓在工業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展和應(yīng)用具有重要意義。 |
