三維磁場探針臺測試系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021326388.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212905398U | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請公布號 | CN212905398U | 申請公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號 | G01R1/073(2006.01)I;G01R33/12(2006.01)I;G01R33/00(2006.01)I;G01R1/067(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 張學瑩;林冠屹;王麟 | 申請（專利權(quán)）人 | 致真精密儀器（青島）有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京智繪未來專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 趙卿;肖繼軍 |
| 地址 | 266100山東省青島市嶗山區(qū)松嶺路393號北京航空航天大學青島研究院6號樓3層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種三維磁場探針臺測試系統(tǒng)，包括：基座、三維電磁鐵模塊、樣品承載模塊、探針臺模塊、顯微測量裝置；三維電磁鐵模塊包括：三維電磁鐵，磁鐵橋架和勵磁電源，三維電磁鐵為五極電磁鐵，包括一個垂直磁極和四個水平磁極或四極電磁鐵，包括四個水平磁極；使用勵磁電源同時為五個或四個磁極的線圈提供相應(yīng)的電流同時獲得包含水平方向和/或垂直方向組成的磁場、并且根據(jù)樣品的幾何尺寸，可以調(diào)整三維電磁鐵的磁極之間的間距并選擇樣品臺，最高可兼容24英寸樣品進行測試，達到晶圓級樣品測試探針臺要求；本實用新型可實現(xiàn)三維磁場探針測試功能，滿足較大樣品的測試需求，穩(wěn)定性高，并可以通過計算機軟件自動控制。?? |
