一種磁性晶圓和自旋電子器件成像和演示系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110549041.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113884953A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113884953A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-04 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01R33/032（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張學(xué)瑩;趙巍勝;楊懷文;孫蒲正 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 致真精密儀器（青島）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京華仁聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王希剛 |
| 地址 | 100083北京市海淀區(qū)學(xué)院路37號(hào)北京航空航天大學(xué) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種磁性晶圓和自旋電子器件成像和演示系統(tǒng)，包括磁性晶圓磁光克爾成像模塊，自旋電子器件磁光克爾成像模塊和計(jì)算機(jī)；所述磁性晶圓磁光克爾成像模塊包括光源I，起偏器I，透鏡元件，磁性晶圓，檢偏器I，透鏡組II和相機(jī)I；所述相機(jī)I與所述計(jì)算機(jī)連接；所述自旋電子器件磁光克爾成像模塊包括光源II，透鏡組III，起偏器II，分束鏡，物鏡，自旋電子器件，檢偏器II和相機(jī)II。所述系統(tǒng)還包括電源模塊和電壓測(cè)量模塊。本發(fā)明提供的成像和演示系統(tǒng)可以同時(shí)演示磁性晶圓和自旋電子器件內(nèi)部的磁化狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)大視野成像，并且同時(shí)實(shí)現(xiàn)自旋電子器件的電流成像，可以實(shí)現(xiàn)電流和磁化狀態(tài)的同步對(duì)比，直觀(guān)展示自旋電子器件的工作原理。 |
