一種磁場探針臺測試系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021326379.2 申請日 -
公開（公告）號 CN212905397U 公開（公告）日 2021-04-06
申請公布號 CN212905397U 申請公布日 2021-04-06
分類號 G01R1/073(2006.01)I;G01R33/12(2006.01)I;G01R33/00(2006.01)I;G01R1/067(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張學瑩;林冠屹;王麟 申請（專利權(quán)）人 致真精密儀器（青島）有限公司
代理機構(gòu) 北京智繪未來專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙卿;肖繼軍
地址 266100山東省青島市嶗山區(qū)松嶺路393號北京航空航天大學青島研究院6號樓3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種磁場探針臺測試系統(tǒng)，其包括：用于減震、承載和固定其余部件的基座，用于放置樣品的樣品承載模塊，用于在不同測試磁場環(huán)境下測試樣品不同特性的探針模塊，電磁鐵模塊，以及用于觀測探針模塊和樣品并進行操作，采集圖像數(shù)據(jù)的顯微測量裝置，所述電磁鐵模塊包括：磁鐵橋架、勵磁電源和多個可拆卸的電磁鐵單元，磁鐵橋架安裝在基座上，用于固定電磁鐵單元；多個可拆卸的電磁鐵單元中的任意一個電磁鐵單元可拆卸地安裝在磁鐵橋架上，用于在勵磁電源的激勵下產(chǎn)生磁場。所述磁場探針臺測試系統(tǒng)使用可拆卸、可調(diào)節(jié)的電磁鐵單元，可以靈活地生成一維或二維磁場，并能夠?qū)Σ煌叽绲臉悠愤M行兼容，達到晶圓級樣品測試探針臺要求，最高可達24英寸。??