一種分子束外延生長表面監(jiān)測裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020540945.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211295044U | 公開（公告）日 | 2020-08-18 |
| 申請公布號 | CN211295044U | 申請公布日 | 2020-08-18 |
| 分類號 | H01L21/66(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 郭帥;馮巍 | 申請（專利權(quán)）人 | 新磊半導(dǎo)體科技（蘇州）股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215151江蘇省蘇州市高新區(qū)建林路666號出口加工區(qū)配套工業(yè)園28號廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型提供一種分子束外延生長表面監(jiān)測裝置，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。該監(jiān)測裝置包括：激光光源、線偏振器、分子束外延生長室腔體、光信號探測組件、數(shù)據(jù)處理組件；線偏振器包括第一線偏振器和第二線偏振器；第一線偏振器設(shè)置在激光光源與入光口之間；第二線偏振器設(shè)置在出光口與光信號探測組件之間，并且第二線偏振器的偏振軸方向與第一線偏振器的偏振軸方向?qū)?yīng)設(shè)置。在實現(xiàn)原位監(jiān)測的光路上，通過在激光光源之后設(shè)置第一線偏振器以產(chǎn)生線偏振光，在光信號探測組件之前設(shè)置第二線偏振器以透過從出光口出射的線偏振光，經(jīng)外延片表面反射的線偏振光沒有損失，同時抑制了生長室內(nèi)部組件發(fā)出的部分噪聲光的透過，提高了光信號探測的信噪比。?? |
