一種霍爾效應電壓確定方法及霍爾測試系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010288145.1 申請日 -
公開（公告）號 CN111474456B 公開（公告）日 2021-03-05
申請公布號 CN111474456B 申請公布日 2021-03-05
分類號 G01R33/07(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I;G01N27/72(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 郭帥;馮巍 申請（專利權）人 新磊半導體科技（蘇州）股份有限公司
代理機構 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 215151江蘇省蘇州市高新區(qū)建林路666號出口加工區(qū)配套工業(yè)園28號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種霍爾效應電壓確定方法及霍爾測試系統(tǒng)，涉及半導體測試技術領域。該霍爾效應電壓確定方法包括：采用范德堡法，在施加失調(diào)補償電壓的同時，在測試磁場值和測試激勵電流值下獲取材料樣品的電壓數(shù)據(jù)；根據(jù)電壓數(shù)據(jù)，計算獲得初始霍爾電壓；根據(jù)電壓數(shù)據(jù)，計算獲得霍爾電壓校正值；根據(jù)初始霍爾電壓和霍爾電壓校正值，確定材料樣品的霍爾效應電壓。通過獲取材料樣品的電壓數(shù)據(jù)，并且根據(jù)電壓數(shù)據(jù)計算出表示材料樣品的失調(diào)電壓對霍爾效應電壓的影響的霍爾電壓校正值，再根據(jù)初始霍爾電壓和霍爾電壓校正值確定材料樣品的霍爾效應電壓，從而可以大幅降低霍爾測試中失調(diào)電壓對霍爾效應電壓結(jié)果的影響，提高所獲得的霍爾效應電壓的準確度。??