一種三氟甲烷純化裝置及純化方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410159290.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103951543B 公開（公告）日 2016-04-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN103951543B 申請(qǐng)公布日 2016-04-20
分類號(hào) C07C19/08(2006.01)I;C07C17/38(2006.01)I;C07C17/383(2006.01)I;C07C17/389(2006.01)I 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 馬建修;陳艷珊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江德清華科氣體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利代理有限公司 代理人 廣東華特氣體股份有限公司
地址 528244 廣東省佛山市南海區(qū)里水鎮(zhèn)和順逢西村文頭嶺腳東側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種三氟甲烷純化裝置以及純化方法，所述裝置包括精餾裝置和與所述精餾裝置連接的吸附裝置，所述精餾裝置包括依次連接的一級(jí)精餾裝置、二級(jí)精餾裝置和三級(jí)精餾裝置，所述吸附裝置包括依次連接的低溫吸附裝置和充裝裝置，所述吸附裝置的低溫吸附裝置與所述精餾裝置連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，采用本發(fā)明裝置純化后三氟甲烷的純度更高，該裝置操作簡(jiǎn)單，并且其純化工藝完整、可靠，重復(fù)性強(qiáng)。不僅考慮到常規(guī)雜質(zhì)的脫除，且將難以脫除的二氧化碳、二氟一氯甲烷、五氟乙烷、水、顆粒度脫除到合格范圍，產(chǎn)品純度99.999%，符合半導(dǎo)體行業(yè)使用要求。